Fabrication of SU-8 multilayer microstructures based on successive CMOS compatible adhesive bonding and releasing steps

  1. Agirregabiria, M.
  2. Blanco, F.J.
  3. Berganzo, J.
  4. Arroyo, M.T.
  5. Fullaondo, A.
  6. Mayora, K.
  7. Ruano-López, J.M.
Revista:
Lab on a Chip

ISSN: 1473-0189,  1473-0197

Año de publicación: 2005

Volumen: 5

Número: 5

Páginas: 545-552

Tipo: Artículo

DOI: 10.1039/B500519A GOOGLE SCHOLAR
Fuente de los datos: Scopus