Fabrication of SU-8 multilayer microstructures based on successive CMOS compatible adhesive bonding and releasing steps

  1. Agirregabiria, M.
  2. Blanco, F.J.
  3. Berganzo, J.
  4. Arroyo, M.T.
  5. Fullaondo, A.
  6. Mayora, K.
  7. Ruano-López, J.M.
Aldizkaria:
Lab on a Chip

ISSN: 1473-0189,  1473-0197

Argitalpen urtea: 2005

Alea: 5

Zenbakia: 5

Orrialdeak: 545-552

Mota: Artikulua

DOI: 10.1039/B500519A GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus