MIGUEL ANGEL
GOSALVEZ AYUSO
IKERTZAILE IRAUNKORRA
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Consejo Superior de Investigaciones Científicas
Madrid, EspañaConsejo Superior de Investigaciones Científicas-ko ikertzaileekin lankidetzan egindako argitalpenak (1)
2016
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Evidence for faster etching at the mask-substrate interface: Atomistic simulation of complex cavities at the micron-/submicron-scale by the continuous cellular automaton
Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol. 26, Núm. 4