LEVEL SET SIMULATION OF SURFACE EVOLUTION IN ANISOTROPIC WET ETCHING OF PATTERNED SAPPHIRE SUBTRATE

  1. Zhang, Jie
  2. Xing, Yan
  3. Gosalvez, Miguel A.
  4. Qiu, Xiaoli
  5. Lin, Xiaohui
  6. Zhang, Chibin
Colección de libros:
2019 IEEE 32ND INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)

ISSN: 1084-6999

ISBN: 978-1-7281-1610-5

Año de publicación: 2019

Páginas: 361-364

Congreso: 32nd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS)

Tipo: Aportación congreso

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Fuente de los datos: WoS