A universal parameter for silicon anisotropic etching in alkaline solutions

  1. Cheng, D.
  2. Gosálvez, M.A.
  3. Shikida, M.
  4. Sato, K.
Aktak:
Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)

ISSN: 1084-6999

ISBN: 9780780394759

Argitalpen urtea: 2006

Alea: 2006

Orrialdeak: 318-321

Mota: Biltzar ekarpena

DOI: 10.1109/MEMSYS.2006.1627800 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus