Improvement in smoothness of anisotropically etched silicon surfaces: Effects of surfactant and TMAH concentrations

  1. Cheng, D.
  2. Gosálvez, M.A.
  3. Hori, T.
  4. Sato, K.
  5. Shikida, M.
Aldizkaria:
Sensors and Actuators, A: Physical

ISSN: 0924-4247

Argitalpen urtea: 2006

Alea: 125

Zenbakia: 2

Orrialdeak: 415-421

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/J.SNA.2005.08.022 GOOGLE SCHOLAR

Garapen Iraunkorreko Helburuak

Datuen iturria: Scopus