Improvement in smoothness of anisotropically etched silicon surfaces: Effects of surfactant and TMAH concentrations

  1. Cheng, D.
  2. Gosálvez, M.A.
  3. Hori, T.
  4. Sato, K.
  5. Shikida, M.
Zeitschrift:
Sensors and Actuators, A: Physical

ISSN: 0924-4247

Datum der Publikation: 2006

Ausgabe: 125

Nummer: 2

Seiten: 415-421

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.SNA.2005.08.022 GOOGLE SCHOLAR

Ziele für nachhaltige Entwicklung

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