Study of corner compensating structures and fabrication of various shapes of MEMS structures in pure and surfactant added TMAH

  1. Pal, P.
  2. Sato, K.
  3. Shikida, M.
  4. Gosálvez, M.A.
Revista:
Sensors and Actuators, A: Physical

ISSN: 0924-4247

Año de publicación: 2009

Volumen: 154

Número: 2

Páginas: 192-203

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.SNA.2008.09.002 GOOGLE SCHOLAR
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