Study of corner compensating structures and fabrication of various shapes of MEMS structures in pure and surfactant added TMAH

  1. Pal, P.
  2. Sato, K.
  3. Shikida, M.
  4. Gosálvez, M.A.
Zeitschrift:
Sensors and Actuators, A: Physical

ISSN: 0924-4247

Datum der Publikation: 2009

Ausgabe: 154

Nummer: 2

Seiten: 192-203

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.SNA.2008.09.002 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus