Fabrication of SU-8 multilayer microstructures based on successive CMOS compatible adhesive bonding and releasing steps

  1. Agirregabiria, M.
  2. Blanco, F.J.
  3. Berganzo, J.
  4. Arroyo, M.T.
  5. Fullaondo, A.
  6. Mayora, K.
  7. Ruano-López, J.M.
Zeitschrift:
Lab on a Chip

ISSN: 1473-0189,  1473-0197

Datum der Publikation: 2005

Ausgabe: 5

Nummer: 5

Seiten: 545-552

Art: Artikel

DOI: 10.1039/B500519A GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus