Nanoimprint lithography and surface modification as prospective technologies for heterogeneous integration

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Revista:
Physica Status Solidi (C) Current Topics in Solid State Physics

ISSN: 1862-6351

Año de publicación: 2008

Volumen: 5

Número: 12

Páginas: 3571-3575

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1002/PSSC.200780226 GOOGLE SCHOLAR
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