Langmuir probe and optical emission spectroscopy studies for RF magnetron sputtering during TiON thin film deposition
- Metawa, A.E.
- El-Hossary, F.M.
- Raaif, M.
- SalahEl-Deen, M.
- El-Moula, A.A.A.
Revista:
Chinese Journal of Physics
ISSN: 0577-9073
Año de publicación: 2020
Volumen: 68
Páginas: 168-177
Tipo: Artículo