Level Set Simulation of Surface Evolution in Anisotropic Wet Etching of Patterned Sapphire Subtrate

  1. Zhang, J.
  2. Xing, Y.
  3. Gosalvez, M.A.
  4. Qiu, X.
  5. Lin, X.
  6. Zhang, C.
Actas:
Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)

ISSN: 1084-6999

ISBN: 9781728116105

Año de publicación: 2019

Volumen: 2019-January

Páginas: 361-364

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/MEMSYS.2019.8870817 GOOGLE SCHOLAR
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