The Maximum Positive Curvature Recognition Method to Determine Etch Profiles in Wet Etching of Quartz on at and BT Cuts

  1. Xing, Y.
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Revista:
Journal of Microelectromechanical Systems

ISSN: 1057-7157

Año de publicación: 2018

Volumen: 27

Número: 4

Páginas: 730-738

Tipo: Artículo

DOI: 10.1109/JMEMS.2018.2850442 GOOGLE SCHOLAR