The Maximum Positive Curvature Recognition Method to Determine Etch Profiles in Wet Etching of Quartz on at and BT Cuts
- Xing, Y.
- Zhang, J.
- Gosalvez, M.A.
- Zhang, H.
- Li, Y.
- Zhou, S.
ISSN: 1057-7157
Año de publicación: 2018
Volumen: 27
Número: 4
Páginas: 730-738
Tipo: Artículo