Integrated SMA-based NEMS actuator for optical switching

  1. Lambrecht, F.
  2. Aseguinolaza, I.
  3. Chernenko, V.
  4. Kohl, M.
Actas:
Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)

ISSN: 1084-6999

ISBN: 9781509019731

Año de publicación: 2016

Volumen: 2016-February

Páginas: 79-82

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/MEMSYS.2016.7421562 GOOGLE SCHOLAR
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