Linewidth determination in local oxidation nanolithography of silicon surfaces
- Tello, M.
- Garciá, F.
- Garciá, R.
ISSN: 0021-8979
Año de publicación: 2002
Volumen: 92
Número: 7
Páginas: 4075-4079
Tipo: Artículo
Revista:
Journal of Applied Physics