Linewidth determination in local oxidation nanolithography of silicon surfaces

  1. Tello, M.
  2. Garciá, F.
  3. Garciá, R.
Aldizkaria:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Argitalpen urtea: 2002

Alea: 92

Zenbakia: 7

Orrialdeak: 4075-4079

Mota: Artikulua

DOI: 10.1063/1.1501753 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus