Helium focused ion beam induced subsurface damage on Si and SiC substrates: experiments and generative deep neural network modeling via position-dependent input

  1. Chen, Q.
  2. Gosalvez, M.A.
  3. Li, Q.
  4. Xing, Y.
Zeitschrift:
Journal of Materials Research and Technology

ISSN: 2238-7854

Datum der Publikation: 2023

Ausgabe: 24

Seiten: 3363-3382

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.JMRT.2023.03.229 GOOGLE SCHOLAR lock_openOpen Access editor

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