Ultrathin metallic membranes to be used in tunable RFMEMS volume capacitors

  1. Etxeberria, JA
  2. Sancho, A
  3. de la Fuente, P
  4. Cabezon, X
Liburu bilduma:
2005 IEEE SENSORS, VOLS 1 AND 2

ISSN: 1930-0395

ISBN: 0-7803-9056-3

Argitalpen urtea: 2005

Orrialdeak: 448-451

Biltzarra: 4th IEEE Conference on Sensors

Mota: Biltzar ekarpena