Ultrathin metallic membranes to be used in tunable RFMEMS volume capacitors

  1. Etxeberria, JA
  2. Sancho, A
  3. de la Fuente, P
  4. Cabezon, X
Büchersammlung:
2005 IEEE SENSORS, VOLS 1 AND 2

ISSN: 1930-0395

ISBN: 0-7803-9056-3

Datum der Publikation: 2005

Seiten: 448-451

Kongress: 4th IEEE Conference on Sensors

Art: Konferenz-Beitrag

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Fuente de los datos: WoS