Anisotropic etching of silicon as a tool for creating injection molding tooling surfaces

  1. Werkmeister, J.
  2. Gosalvez, M.A.
  3. Willoughby, P.
  4. Slocum, A.H.
  5. Sato, K.
Aldizkaria:
Journal of Microelectromechanical Systems

ISSN: 1057-7157

Argitalpen urtea: 2006

Alea: 15

Zenbakia: 6

Orrialdeak: 1671-1680

Mota: Artikulua

DOI: 10.1109/JMEMS.2006.885989 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus