Anisotropic etching of silicon as a tool for creating injection molding tooling surfaces

  1. Werkmeister, J.
  2. Gosalvez, M.A.
  3. Willoughby, P.
  4. Slocum, A.H.
  5. Sato, K.
Zeitschrift:
Journal of Microelectromechanical Systems

ISSN: 1057-7157

Datum der Publikation: 2006

Ausgabe: 15

Nummer: 6

Seiten: 1671-1680

Art: Artikel

DOI: 10.1109/JMEMS.2006.885989 GOOGLE SCHOLAR
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