Adsorbed surfactant thickness on a Si wafer dominating etching properties of TMAH solution

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Actas:
20th Anniversary MHS 2009 and Micro-Nano Global COE - 2009 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science

ISBN: 9781424450954

Año de publicación: 2009

Páginas: 48-52

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/MHS.2009.5352098 GOOGLE SCHOLAR
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