Saw-Pirani vacuum sensor with a new functioning mode and a fast response time

  1. Mercier, D.
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  3. Brunet-Manquat, P.
  4. Verrun, S.
  5. Elmazria, O.
  6. Sarry, F.
  7. Belgacem, B.
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Actas:
2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11

ISBN: 9781457701573

Año de publicación: 2011

Páginas: 902-905

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/TRANSDUCERS.2011.5969122 GOOGLE SCHOLAR
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