Thin film diffusion barrier formation in PDMS microcavities

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Actas:
TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems

ISBN: 9781424441938

Año de publicación: 2009

Páginas: 1051-1054

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/SENSOR.2009.5285939 GOOGLE SCHOLAR
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