LENS (lithography enhancement toward nano scale): A European project to support double exposure and double patterning technology development

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Actas:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 1996-756X 0277-786X

ISBN: 9780819480545

Año de publicación: 2010

Volumen: 7640

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1117/12.846030 GOOGLE SCHOLAR

Objetivos de desarrollo sostenible