Nanoimprint lithography and surface modification as prospective technologies for heterogeneous integration

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Zeitschrift:
Physica Status Solidi (C) Current Topics in Solid State Physics

ISSN: 1862-6351

Datum der Publikation: 2008

Ausgabe: 5

Nummer: 12

Seiten: 3571-3575

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1002/PSSC.200780226 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus