Level Set Simulation of Surface Evolution in Anisotropic Wet Etching of Patterned Sapphire Subtrate

  1. Zhang, J.
  2. Xing, Y.
  3. Gosalvez, M.A.
  4. Qiu, X.
  5. Lin, X.
  6. Zhang, C.
Konferenzberichte:
Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)

ISSN: 1084-6999

ISBN: 9781728116105

Datum der Publikation: 2019

Ausgabe: 2019-January

Seiten: 361-364

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1109/MEMSYS.2019.8870817 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus