The Maximum Positive Curvature Recognition Method to Determine Etch Profiles in Wet Etching of Quartz on at and BT Cuts

  1. Xing, Y.
  2. Zhang, J.
  3. Gosalvez, M.A.
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Zeitschrift:
Journal of Microelectromechanical Systems

ISSN: 1057-7157

Datum der Publikation: 2018

Ausgabe: 27

Nummer: 4

Seiten: 730-738

Art: Artikel

DOI: 10.1109/JMEMS.2018.2850442 GOOGLE SCHOLAR