Kinetic Monte Carlo method for the simulation of anisotropic wet etching of quartz

  1. Zhang, H.
  2. Xing, Y.
  3. Li, Y.
  4. Gosálvez, M.A.
  5. Qiu, X.
Aldizkaria:
Sensors and Actuators, A: Physical

ISSN: 0924-4247

Argitalpen urtea: 2017

Alea: 256

Orrialdeak: 24-34

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/J.SNA.2017.01.008 GOOGLE SCHOLAR

Garapen Iraunkorreko Helburuak

Datuen iturria: Scopus