Kinetic Monte Carlo method for the simulation of anisotropic wet etching of quartz

  1. Zhang, H.
  2. Xing, Y.
  3. Li, Y.
  4. Gosálvez, M.A.
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Zeitschrift:
Sensors and Actuators, A: Physical

ISSN: 0924-4247

Datum der Publikation: 2017

Ausgabe: 256

Seiten: 24-34

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.SNA.2017.01.008 GOOGLE SCHOLAR

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