The level set simulation for complex microstructures in quartz wet etching

  1. Zhang, Y.
  2. Zhang, J.
  3. Xing, Y.
  4. Zhang, H.
  5. Gosalvez, M.A.
  6. Qiu, X.
Actas:
TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems

ISBN: 9781538627310

Año de publicación: 2017

Páginas: 1356-1359

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994308 GOOGLE SCHOLAR
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