Evolutionary determination of kinetic Monte Carlo rates for the simulation of evolving surfaces in anisotropic etching of silicon

  1. Xing, Y.
  2. Gosálvez, M.A.
  3. Sato, K.
  4. Tian, M.
  5. Yi, H.
Zeitschrift:
Journal of Micromechanics and Microengineering

ISSN: 0960-1317,  1361-6439

Datum der Publikation: 2012

Ausgabe: 22

Nummer: 8

Art: Artikel

DOI: 10.1088/0960-1317/22/8/085020 GOOGLE SCHOLAR

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