Faster and exact implementation of the continuous cellular automaton for anisotropic etching simulations

  1. Ferrando, N.
  2. Gosálvez, M.A.
  3. Cerdá, J.
  4. Gadea, R.
  5. Sato, K.
Aldizkaria:
Journal of Micromechanics and Microengineering

ISSN: 0960-1317,  1361-6439

Argitalpen urtea: 2011

Alea: 21

Zenbakia: 2

Mota: Artikulua

DOI: 10.1088/0960-1317/21/2/025021 GOOGLE SCHOLAR

Garapen Iraunkorreko Helburuak

Datuen iturria: Scopus