Local characterization of ultrathin oxides on silicon wafers by scanning tunneling microscopy

  1. Vasquez de Parga, A.L.
  2. Ocal, C.
  3. Ortega, J.E.
  4. Miranda, R.
Zeitschrift:
Vacuum

ISSN: 0042-207X

Datum der Publikation: 1990

Ausgabe: 41

Nummer: 4-6

Seiten: 784-786

Art: Artikel

DOI: 10.1016/0042-207X(90)93783-F GOOGLE SCHOLAR
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