Física
Fachbereich
Isaac Newton Group of Telescopes
La Palma, EspañaPublikationen in Zusammenarbeit mit Forschern von Isaac Newton Group of Telescopes (2)
2007
2002
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Linewidth determination in local oxidation nanolithography of silicon surfaces
Journal of Applied Physics, Vol. 92, Núm. 7, pp. 4075-4079