PROCEDIMIENTO DE DEPOSICIÓN DE NANOPARTÍCULAS METÁLICAS POR DEPOSICIÓN FÍSICA EN FASE DE VAPOR Y PROCEDIMIENTO DE GENERACIÓN DE RUGOSIDADES.
-
Inventores/as:
- FELISBERTO, Marcos
- SACCO, Leandro
- RUBIOLO, Gerardo
- GOYANES, Silvia
- MARIA ARANZAZU ECEIZA MENDIGUREN
- KORTABARRIA ALZERREKA, Gardel
- IÑAKI BIXINTXO MONDRAGON EGAÑA
-
Universidad del País Vasco/Euskal Herriko Unibertsitatea
info
Universidad del País Vasco/Euskal Herriko Unibertsitatea
Lejona, España
-
Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas
info
Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas
Buenos Aires, Argentina
ES2445201A1 (28-02-2014)
ES2445201B1 (29-09-2014)
P201231223 (30-07-2012)
Resumen
Procedimiento de deposición de nanopartículas metálicas por deposición física en fase de vapor y procedimiento de generación de rugosidades.
Procedimiento de deposición de nanopartículas metálicas en todo tipo de sustratos por pulverización catódica, donde porque la deposición se realiza a una densidad de potencia entre 0.2-5 W/cm2 a una presión entre 60 y 180 Pa, en presencia de un gas noble. Gracias del procedimiento de la invención es posible depositar nanopartículas sobre cualquier tipo de substrato (polímeros, fibras, silicio...), a bajas temperaturas, en particular a temperatura ambiente, sin limitaciones en el área de deposición y sin restricciones en cuanto al tiempo en el cual se realiza el depósito. Tras la deposición, invirtiendo la polaridad, se pueden realizar rugosidades de escala nanométrica en el sustrato.