Nano-oxidation of silicon surfaces: Comparison of noncontact and contact atomic-force microscopy methods

  1. Tello, M.
  2. García, R.
Zeitschrift:
Applied Physics Letters

ISSN: 0003-6951

Datum der Publikation: 2001

Ausgabe: 79

Nummer: 3

Seiten: 424-426

Art: Artikel

DOI: 10.1063/1.1385582 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus