Linewidth determination in local oxidation nanolithography of silicon surfaces

  1. Tello, M.
  2. Garciá, F.
  3. Garciá, R.
Zeitschrift:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Datum der Publikation: 2002

Ausgabe: 92

Nummer: 7

Seiten: 4075-4079

Art: Artikel

DOI: 10.1063/1.1501753 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus