Giant growth rate in nano-oxidation of p-silicon surfaces by using ethyl alcohol liquid bridges

  1. Tello, M.
  2. García, R.
Aldizkaria:
Applied Physics Letters

ISSN: 0003-6951

Argitalpen urtea: 2003

Alea: 83

Zenbakia: 12

Orrialdeak: 2339-2341

Mota: Artikulua

DOI: 10.1063/1.1613799 GOOGLE SCHOLAR