Scanning-spatial-phase alignment for zone-plate-array lithography

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Revista:
Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

ISSN: 1071-1023

Año de publicación: 2004

Volumen: 22

Número: 6

Páginas: 3382-3385

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1116/1.1809631 GOOGLE SCHOLAR
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