Anhydrous HF processing as an alternative to HF/water process

  1. Staffa, J
  2. Roman, P
  3. Chang, K
  4. Torek, K
  5. Ruzyllo, J
Colección de libros:
ENVIRONMENTAL, SAFETY, AND HEALTH ISSUES IN IC PRODUCTION
  1. Reif, R (coord.)
  2. Heyns, M (coord.)
  3. Bowling, A (coord.)
  4. Tonti, A (coord.)

ISSN: 0886-7860

ISBN: 1-55899-351-7

Año de publicación: 1997

Volumen: 447

Páginas: 9-14

Congreso: Symposium on Environmental, Safety, and Health Issues in IC Production

Tipo: Aportación congreso

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Fuente de los datos: WoS