Ultrathin metallic membranes to be used in tunable RFMEMS volume capacitors

  1. Etxeberria, J.A.
  2. Sancho, A.
  3. De La Fuente, P.
  4. Gracia, F.J.
  5. Cabezón, X.
Actas:
Proceedings of IEEE Sensors

ISBN: 9780780390560

Año de publicación: 2005

Volumen: 2005

Páginas: 448-451

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/ICSENS.2005.1597732 GOOGLE SCHOLAR
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