Arrhenius and non-Arrhenius behaviour during anisotropic etching
- Gosálvez, M.A.
- Nieminen, R.M.
- Sato, K.
ISSN: 0914-4935
Année de publication: 2005
Volumen: 17
Número: 4
Pages: 187-197
Type: Communication dans un congrès
Revue:
Sensors and Materials