Arrhenius and non-Arrhenius behaviour during anisotropic etching

  1. Gosálvez, M.A.
  2. Nieminen, R.M.
  3. Sato, K.
Aldizkaria:
Sensors and Materials

ISSN: 0914-4935

Argitalpen urtea: 2005

Alea: 17

Zenbakia: 4

Orrialdeak: 187-197

Mota: Biltzar ekarpena

GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus