Arrhenius and non-Arrhenius behaviour during anisotropic etching

  1. Gosálvez, M.A.
  2. Nieminen, R.M.
  3. Sato, K.
Zeitschrift:
Sensors and Materials

ISSN: 0914-4935

Datum der Publikation: 2005

Ausgabe: 17

Nummer: 4

Seiten: 187-197

Art: Konferenz-Beitrag

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