Faster simulations of step bunching during anisotropic etching: Formation of zigzag structures on Si(1 1 0)

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Revista:
Journal of Micromechanics and Microengineering

ISSN: 0960-1317,  1361-6439

Año de publicación: 2007

Volumen: 17

Número: 4

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1088/0960-1317/17/4/S02 GOOGLE SCHOLAR
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