An atomistic introduction to anisotropic etching

  1. Gosálvez, M.A.
  2. Sato, K.
  3. Foster, A.S.
  4. Nieminen, R.M.
  5. Tanaka, H.
Revista:
Journal of Micromechanics and Microengineering

ISSN: 0960-1317,  1361-6439

Año de publicación: 2007

Volumen: 17

Número: 4

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1088/0960-1317/17/4/S01 GOOGLE SCHOLAR
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