Analytical solution of the continuous cellular automaton for anisotropic etching
- Gosálvez, M.A.
- Xing, Y.
- Sato, K.
ISSN: 1057-7157
Año de publicación: 2008
Volumen: 17
Número: 2
Páginas: 410-431
Tipo: Artículo
Revista:
Journal of Microelectromechanical Systems