Adsorption of metal impurities on H-terminated Si surfaces and their influence on the wet chemical etching of Si
- Hynninen, T.
- Foster, A.S.
- Gosálvez, M.A.
- Sato, K.
- Nieminen, R.M.
ISSN: 0953-8984, 1361-648X
Datum der Publikation: 2008
Ausgabe: 20
Nummer: 48
Art: Artikel